Publications

Benner, F. ; Jordan, Paul M. ; Richter, C. ; Simon, Daniel K. ; Dirnstorfer, I. ; Knaut, M. ; Bartha, J. W. ; Mikolajick, T.

Atomic layer deposited high-κ nanolaminates for silicon surface passivation

Typ der Veröffentlichung

Zeitschriftenaufsatz

Veröffentlicht in

Journal of Vacuum Science & Technolgy, B

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2014

Band/Vol.

Heftnummer/Issue

Seiten

03D110-03D110-6

Referiert

Open Access

Url/Urn/Doi

Berichtsjahr

2014

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