Publications

Junige, M. ; Löffler, M. ; Geidel, M. ; Albert, M. ; Bartha, J.W. ; Zschech, E. ; van Dorp, Willem F.

Area-selective Atomic Layer Deposition of Ruthenium upon Focused Electron Beam Induced Deposition Platinum patterns versus Silicon Dioxide substrate

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Area Selective Deposition workshop "ASD 2016" : April 15th, 2016, at imec in Leuven, Belgium. Leuven, 2016

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2016

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2016

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