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Junige, M.

HERALD – Early Career Investigators : In-situ real-time Spectroscopic Ellipsometry for the investigation of Atomic Layer Processing

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Joint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference : 11th to 14th of June 2017 in Linköping, Sweden. Linköping, 2017

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2017

Band/Vol.

Poster

Referiert

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2017

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