Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Advanced Interconnects and Chemical Mechanical Planarization for Micro- and Nanoelectronics
Typ der Veröffentlichung
Buch
Schlagwörter
-
Verlag
Materials Research Sciety, Symposium Proceedings Volume 1249
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Referiert
Nein
ISBN
978-1-60511-226-8
Berichtsjahr
2010
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente