Publications
Barrieresystem zur zuverlässigen verkapselung von funktionellen Elementen
Art des Schutzrechtes
Patent
Entwicklungsstand
Funktionsmuster
Erfinder
- Dr.-Ing. Henning Heuer
- Dr.rer.nat. Christian Wenzel
- Dr.-Ing. Dieter Herrmann
- Dr.-Ing. Siegfried Menzel
- Dipl.-Phys. Daniel Reitz
Anmelder
TU Dresden
Anmeldung
national
Aktenzeichen
DE 10 2004 055 333 A1
Kontaktperson
Herr Dr.rer.nat. Christian Wenzel
Telefon: +49 463 36413
Fax: +49 463 37172
E-Mail: wenzel@ihm.et.tu-dresden.de
Telefon: +49 463 36413
Fax: +49 463 37172
E-Mail: wenzel@ihm.et.tu-dresden.de
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Plasmagestützte Abscheidung und Strukturierung von dünnen Schichten
Berichtsjahr
2006
Categories
Journals | Conferencens | Books | Patents