Veröffentlichte Journal-Beiträge
Electrical characterisation of HfYO MIM-structures deposited by ALD
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Thin Solid Films
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Band/Vol.
518
Seiten
4680-4683
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2010
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