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Atomic Layer Deposition of Titanium Dioxide Thin Films from Cp*Ti(OMe)3
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
J. Phys. Chem. C 2009
Schlagwörter
Atomic Layer Deposition
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Band/Vol.
113
Seiten
21825-21830
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
10.1021/jp907940u
Berichtsjahr
2009
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