Veröffentlichte Journal-Beiträge
Investigation of a Ta-Si-O/Ta-Si-N bilayer system for embedded SAW finger structures
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering 82
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2006
Vermerk
keiner
Band/Vol.
82
Seiten
301-306
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Plasmagestützte Abscheidung und Strukturierung von dünnen Schichten
Berichtsjahr
2006
Export