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Wojcik, H. ; Junige, M. ; Bartha, J.W. ; Albert, M. ; Neumann, V. ; Merkel, U. ; Peeva, A. ; Gluch, J. ; Menzel, S. ; Munnik, F. ; Liske, R. ; Utess, D. ; Richter, I. ; Klein, C. ; Engelmann, H.-J. ; Hoßbach, C. ; Wenzel, C.
Physical Characterization of PECVD and PEALD Ru(-C) Films and Comparison with PVD Ruthenium Film Properties
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Journal of The Electrochemical Society
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Band/Vol.
159
Heftnummer/Issue
2
Seiten
166-176
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
10.1149/2.066202jes
Berichtsjahr
2012
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Philipp Wenskus
Last modified: Oct 05, 2022