Veröffentlichte Journal-Beiträge
Analysis of the energy input during wire coating from a cylindrical magnetron source
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Thin Solid Films
Schlagwörter
Wire coating, Sputter deposition, Energy input, Langmuir probe, TRIM
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Band/Vol.
520
Heftnummer/Issue
20
Seiten
6404-6408
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Url/Urn/Doi
DOI: 10.1016/j.tsf.2012.05.072
Berichtsjahr
2012
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