Veröffentlichte Journal-Beiträge
Investigation of Argon Plasma Damage on Ultra Low-κ Dielectrics
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
ECS J. Solid State Sci. Technol. 2015
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Band/Vol.
4
Heftnummer/Issue
1
Seiten
N3023-N3028
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
10.1149/2.0041501jss
Berichtsjahr
2015
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