Veröffentlichte Journal-Beiträge
Investigation of a Ta–Si–O/Ta–Si–N bilayer system for embedded SAW finger structures
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering 82 (2005)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Seiten
301-306
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Kupfermetallisierung/Diffusionsbarrieren/Isolatoren mit niedriger und hoher Dielektrizitätskonstante
Zugeordnete Forschungsprojekte
- SAW-Leistungsbauelemente in Kupfer-Damascene-Technik
Berichtsjahr
2005
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