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Temperature dependence of the sticking coefficients of bis-diethyl aminosilane and trimethylaluminum in atomic layer deposition
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
J. Vac. Sci. Technol. A 35 , 01B119
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2017
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
10.1116/1.4971197
Berichtsjahr
2017
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