Veröffentlichte Journal-Beiträge
Schutzschichten zur Verkapselung funktioneller Bauelemente
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Dresdner Transferbrief „ Energietechnik“ 1.05
Verlagsort
Dresden
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2005
Vermerk
Neuerscheinung
Seiten
4
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Kupfermetallisierung/Diffusionsbarrieren/Isolatoren mit niedriger und hoher Dielektrizitätskonstante
Berichtsjahr
2005
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