Veröffentlichte Konferenzbeiträge
CVD-literature overview of metal-organic and organometallic precursors as inspiration for the Atomic Layer Deposition of Gold
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Joint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference : 11th to 14th of June 2017 in Linköping, Sweden. Linköping, 2017
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2017
Band/Vol.
Poster
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2017
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