Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Metal and Insulator layers for DRAM applications
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
GerALD2008, Sept. 22-23, Halle
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
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