Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Dynamische VHF-PECVD für die großflächige Abscheidung von amorphen und mikrokristallinem Silizium auf Glas- und Foliensubstraten
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Silicon Saxony Day, Dresden
Schlagwörter
amorphes und mikrokristallines Silizum
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2009
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