Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Assessment Of Mechanical Properties Of Nanoscale Structures For Microprocessor Manufacturing
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
11th International Workshop on Stress-Induced Phenomena in Metallization April 12 - 14, 2010, Dresden
Schlagwörter
Nanoscale Structures
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Band/Vol.
Poster
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2010
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