Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Static and Dynamic VHF-Deposition of Microcrystalline Silicon at 140 MHz with Rates Up to 2.5 Nm/s
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
29th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Amsterdam
Schlagwörter
PECVD, Solar Cell, High Rate, Microcrystalline Silicon, Very High Frequency
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Seiten
1917-1920
Referiert
Ja
Open Access
Nein
ISBN
3-936338-34-5
Url/Urn/Doi
DOI: 10.4229/EUPVSEC20142014-3DV.4.18
Berichtsjahr
2014
Export