Veröffentlichte Konferenzbeiträge
In-situ real-time Spectroscopic Ellipsometry for the monitoring and control of kinetic processes in oxide, nitride, and metal ALD
Poster
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
AVS 15th International Conference on Atomic Layer Deposition : June 28 – July 1, 2015, Portland, Oregon, USA. Portland, 2015
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2015
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2015
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