Publications
Detailed characterization of hydrogen silsesquixane for e-beam applications in a dynamic random access memory pilot line environment
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
J. Vac. Sci. Technol.
Schlagwörter
hydrogen silsesquioxane
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Band/Vol.
B 27(1)
Seiten
1071-1023
Referiert
Ja
Berichtsjahr
2009
Export
Categories
Journals | Conferencens | Books | Patents