Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Electrical properties of electroplated Cu(Ag) thin films
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Thin Solid Films 517
Schlagwörter
Electrical properties of electroplated Cu(Ag) thin films
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Seiten
3320-3325
Referiert
Ja
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Kupfermetallisierung/Diffusionsbarrieren/Isolatoren mit niedriger und hoher Dielektrizitätskonstante
Berichtsjahr
2009
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente