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Fourier Transform Infrared Spectroscopy of Moisturized Low-k Dielectric Materials
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Electron Devices, IEEE Transactions on
Schlagwörter
Infrared spectroscopy, low- κ materials, moisture uptake
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Band/Vol.
58
Heftnummer/Issue
9
Seiten
2888-2894
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Berichtsjahr
2011
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