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In-situ analytics for development and control of atomic layer deposition processes
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
11th European Advanced Equipment Control/Advanced Process Control (AEC/APC) Conference
Schlagwörter
ALD, in-situ analytics, QCM, XPS, QMS, SE, process development, process control
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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Journals | Conferencens | Books | Patents