Publikationen der Professur für Halbleitertechnik
Deformations of soft imprint templates in the nanoimprint lithography
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. SPIE 8323, Alternative Lithographic Technologies IV, 83231B (March 1, 2012), Alternative Lithographic Technologies IV, San Jose, California, February 12, 2012
Schlagwörter
Nanoimprint, soft imptint template, FEM, deformation
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Referiert
Ja
Open Access
Ja
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2012
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente