Professur für Halbleitertech­nik

Die Professur für Halbleitertechnik widmet sich in Forschung und Lehre den Fertigungstechniken und Technologien zur Herstellung integrierter Schaltkreise. Einen Schwerpunkt bildet die Verdrahtung der Bauelemente auf dem Chip bis hin zu den Anschlußkontakten zum Chipträger. Die Ausstattung der Labore ermöglicht neben der Anwendung im BEOL (back-end of line) der Chipfertigung die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen, die in Sensor- und Aktorsystemen eingesetzt werden. Die damit verbundenen Möglichkeiten sind ein integraler Bestandteil im Aufgabenfeld des IHM, werden aber auch von universitären und nichtuniversitären Instituten und Industriebetrieben genutzt. Die Entwicklung der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik hat gezeigt, dass Technologien aus verschiedensten Disziplinen mit großem Nutzen in unterschiedliche Anwendungsfelder migrieren können. Im Lehrstuhl HLT versuchen wir mit Kompetenz und Offenheit diese Chancen zu nutzen.Eine Sonderstellung im Lehrstuhl HLT nehmen die Plasmabeschichtungs- und Ätzprozesse im Bereich der Solartechnik ein. Hier wird versucht, mit dem Erfahrungshintergrund aus der Plasma- und Halbleitertechnik umweltschonendere Prozesse für die Beschichtung und Kammerreinigung zu entwickeln.