Beschleunigte Entwicklung und Prototypenbau von nanotechnologiebasierten Hocheffizienz-Dünnschicht-Solarmodulen (Fast Track)
Teilprojekt IHM: VHF-PECVD für mikrokristalline Si-Schichten
Das EU-Projekt Fast Track umfasste ein Konsortium von initial 19 Partnern aus Europa, um Dünnschichtsolarzellen mit mehreren p-n Übergängen neu zu gestalten. Das Hauptziel war es, die Modulherstellungskosten unter 0,5 €/Wp zu drücken. Um dies zu erreichen, sollten die Wirkungsgrade der Mehrfachübergangs-Bauteile über 14 % bzw. 12 % auf Zellebene bzw. Modulebene erhöht werden. Teilaufgabe der TU Dresden war die Schaffung hochproduktiver Abscheideverfahren für Dünnschicht-Siliziumsolarzellen. Im Ergebnis wurden mikrokristalline Silizium Dünnschichtsolarzellen mit hohen Wirkungsgraden (> 8 %) und hohen Beschichtungsraten (> 2 nm/s) entwickelt.1 Dazu wurde ein VHF-Prozess mit Plasmaanregungsfrequenzen größer als 100 MHz eingesetzt und optimiert. Zusätzlich wurden Plasmasimulationen durchgeführt um die VHF-PECVD Prozesse auf ein industrietaugliches Niveau zu heben.
Weitere Informationen:
Dr.-Ing. Carsten Strobel, Dr.-Ing. Matthias Albert
Fußnoten
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C. Strobel, S. Leszczynski, U. Merkel, J. Kuske, D.D. Fischer, M. Albert, J. Holovský and J.W. Bartha, High efficiency high Rate Microcrystalline silicon thin film solar cells deposited at plasma excitation frequencies of larger than 100 MHz, Sol. Energy Mater. Sol. Cells, Vol. 143, (2015), 347–353