Veröffentlichungen Halbleitertechnik 2014
Flash-Lamp-Enhanced Atomic Layer Deposition of Thin Films
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
226th ECS-Meeting, Symposium P1 - Atomic Layer Deposition Applications 10, 5.-9. Oktober 2014, Cancun, Mexiko
Schlagwörter
Flash Lamp Annealing, Atomic Layer Deposition
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2014
Band/Vol.
ECS Transactions 64 (9)
Seiten
167-189
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
10.1149/06409.0167ecst
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2014
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