Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Dynamic VHF-PECVD Deposition with Linear Plasma Sources for Amorphous and Microcrystalline Silicon Solar Cells
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Society of Vacuum Coaters(SVC), Technical Conference Proceedings, Chicago 2011
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
Export
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