Veröffentlichte Konferenzbeiträge 2006 1 bis 2 von 2 EinträgenSchmidt, D.; Hossbach, C.; Albert, M.; Bartha, J.W.; Menzel, S.: In-Situ Metrology for improved Atomic Layer Deposited TaN Properties by Supplying Additional Energy. In: Agent. Proc. AVS ALD Conf., San Francisco (US) avail, online (2006)Novodvorski, O.A.; Panchenko, V.Ya.; Chramova, O.D.; Gorbatenko, L.S.; Butorina, Ye.A.; Wenzel, C.; Bartha, J.W.: Optical and structural characteristics of ZnO filmsdoped with Ga. In: SPIE 6161 6161 (2006), S. OH1–OH10Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.