Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Dynamic High Rate Deposition of Microcrystalline Silicon with Very High Excitation Frequencies (80-150MHz) Using Linear Plasma Sources
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of 26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (2011)
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Seiten
2499-2501
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2011
Export
Konferenzen Archiv:
2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 | 2005