Veröffentlichte Konferenzbeiträge
High-rate deposition of silicon thin film layers using linear plasma sources operated at very high excitation frequencies (80-140 MHz)
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of SPIE Optics + Photonics Conference, Thin Film Solar Technology IV, vol. 8470 (2012)
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
Berichtsjahr
2012
Export
Konferenzen Archiv:
2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 | 2005