Veröffentlichte Konferenzbeiträge
The Initial Growth of Tantalum Nitride ALD: A Comparative Quantum Chemical and In Situ Experimental Study
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
12th International Conference on Atomic Layer Deposition AVS-ALD & Baltic ALD 2012: June 18 – 20, 2012, Dresden
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2012
Export
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