Published Conferences
Influence of the Excitation Frequency Increase up to 140 MHz on the VHF-PECVD Technology
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of the COMSOL Conference, 23-25 October 2013, Rotterdam
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2013
Export
Conference Archives:
2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 | 2005