Veröffentlichte Konferenzbeiträge 2008
Chemical and physical surface interactions during the oxide CMP studied through the wafer backside by FTIR spectroscopy
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Electrochemistry: Crossing Boundaries, Gießen, 6.10.2008
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Referiert
Ja
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
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