Published Conferences 2013 https://tu-dresden.de/ing/elektrotechnik/ihm/hlt/forschung/publikationen-1/konferenzen/veroeffentlichte-konferenzbeitraege-2013 https://tu-dresden.de/logo.png Published Conferences 2013 11 bis 13 von 13 EinträgenBartha, J.W.; Albert, M.; Junige, M.; Knaut, M.: Automated ALD precursor qualification. In: Semicon Europa 2013 : TechArena. Emerging Research Materials. Dresden, 08.10.-10.10.2013 Vortrag (2013)Strobel, C.; Merkel, U.; Leszczynska, B.; Leszczynski, S.; Kuske, J.; Albert, M.; Bartha, J.W.: Very high deposition rate µc-Si:H absorber layer deposition using a plasma excitation frequency of 140 MHz in combination with high process pressures. In: Proceedings of 28th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Paris, Frankreich, 30.09.-04.10.2013 (2013), S. 2573–2579Knaut, M.; Benner, F.; Hoßbach, C.; Geidel, M.; Dirnstorfer, I.; Albert, M.; Bartha, J.W.: In-situ Growth Control für AlxTiyOz Films and Laminates. In: 13th AVS conference on Atomic Layer Deposition, San Diego, CA, USA, 28.07.-31.07.2013 (2013)Zurück 1 2 Diese Informationen werden vom Vorgängersystem FIS bereitgestellt.