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Characterization of the initial growth of hafnium silicate films in dependence of process parameters and substrate materials
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. EMRS Fall-Meet., Warschau (PL)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2007
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