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In-situ XPS study on the growth of ultra-thin Al-O and Ti-O based films with atomic layer deposition
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
E-MRS 2010 Spring Meeting in Strasbourg, 07.06.2010-11.06.2010
Schlagwörter
ALD
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Band/Vol.
Poster
Referiert
Nein
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2010
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