Veröffentlichte Konferenzbeiträge
Ultra-thin AlxTi1-xOy films deposited by atomic layer deposition for DRAM capacitors and quantum devices
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceeding of Nanofair Conference 2010, Dresden, Germany
Schlagwörter
ALD, in-situ Analytics, XPS, QCM
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Referiert
Ja
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2010
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