Vakuumtechnik
Prof.Dr.rer.nat. J. W. Bartha
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Modul Angewandte Dünnschicht- und Solartechnik (ET-121203)
ACHTUNG: Ab 05.4.2022 werden Web basierte "virtuelle Vorlesungen" (mit video streams) bereit gestellt, die Sie im Lerngruppenordner "LG Vakuumtechnik SS21" abrufen können.
Bitte registrieren Sie sich unter: https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/17035362306/CourseNode/97454170411672?11
Inhalt der Vorlesung
Vakuumprozesse spielen in der Halbleitertechnik eine dominierende Rolle. In dieser Vorlesung sollen die zum Verständnis dieser Prozesse notwendigen vakuumtechnischen Grundkenntnisse vermittelt werden. Hierzu zählt die Gaskinetik, Vakuum- und Strömungsbereiche, Pumpprinzipien und Pumpenausführungen, Vakuum- und Gasströmungsmessung. Das erworbene Wissen ermöglicht sowohl ein eingehendes Verständnis der physikalischen Vorgänge in einem Vakuumprozeß als auch ein Vorstellungsvermögen über Kosten und Nutzen von Vakuumanlagen.
| Zeit und Ort: | Dienstag, 4. DS, n.n. |
| Beginn: | 05.04.2022 |
Auch für Promotionsstudenten Halbleitertechnik!