11.10.2020
Anisotropic etching of amorphous glass surfaces
Das anisotrope und kristallorientierte Ätzen von Silizium ist seit langem bekannt. Das anisotrope Ätzen von amorphem Siliciumdioxid mit rein isotroper Flusssäure als Ätzmittel ist hingegen ein unerwartetes Phänomen. In einer Zusammenarbeit der Arbeitsgruppe für Mesoskopische 3D Systeme, dem Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, dem Lehrstuhl für Nanoelektronik an der TU Dresden und dem Paul-Scherrer-Institut (Schweiz) haben R. Kirchner et al. kürzlich die Herstellung von Pyramidenstrukturen aus Siliziumdioxid und Glas unter Verwendung eines erhöhten lateralen Ätzangriffes unter Metallflächen demonstriert. Dieser kürzlich in SMALL (Wiley) veröffentlichte selbst-perfektionierender Mechanismus ist besonders attraktiv für die hochpräzise 3D-Oberflächenstrukturierung.