Vorlesung "Mikrosystemtechnik"
Folien
- Einleitung
- Mikrotechniken und -technologien
Lithografie und Schichtabscheidung
Schichtabtragung
Galvanik
Technologien - Mikroaktoren
- Mikrosensoren
Mechanische Wandler
Magnetische Wandler - Energieversorgung
Praktikum
im Sommersemester
Literatur - Bücher
- Fischer, W.-J. (Hrg.): Mikrosystemtechnik Vogelverlag, 2000
- Kovacs, G.T.A.: Micromachined Transducers – Sourcebook McGraw-Hill, 1998
- Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure VCH, Weinheim, 2005
- Gerlach, G., Dötzel, W.; Müller, D.: Introduction to Microsystem Technology: A Guide for Students, Wiley, 2008
- Heuberger, A.: Mikromechanik B.G. Teubner, Wiesbaden, 2004
- Völklein, F.; Zetterer, T.: Praxiswissen Mikrosystemtechnik Vieweg-Verlag 2006
- Schaumburg, H.: Sensoren B.G. Teubner, Stuttgart, 1992
- Schaumburg, H.: Werkstoffe B.G. Teubner, Stuttgart, 1990