Studien- und Diplomarbeiten / Project Work / Bachelor/Master-Arbeiten

Entwicklung und Vergleich von PEALD-Prozessen für die Herstellung von Metallnitrid-Schichten und Untersuchung des Schichtwachstums mittels in situ Messtechniken

Elektrochemische Untersuchungen von Ruthenium-Oberflächen mittels Unterpotentialabscheidung von Kupferionen

• Ruthenium (Ru) ist zwar ein Edelmetall, weist aber eine hohe Affinität zum Sauerstoff auf, wodurch oberflächliche Bedeckungen durch Sauerstoff­spezies (sogenannte „surficial oxides“) auftreten können. Das Ausmaß dieser Bedeckung lässt sich quantifizieren, indem man Kupferionen in sub-mono­molekularer Bedeckung mittels Unter­potential­abscheidung (Cu-UPD) abscheidet.
• Die Cu-UPD lässt sich mit anderen elektrochemischen Unter­suchungen oder mit spektroskopischen Methoden kombinieren.

Elektrolytische Wasserstoff-Einlagerung in Silicium-Einkristalle

• Wasserstoff (H₂) kann mittels Elektrolyse in Silicium-Einkristalle eingelagert werden. Nach Literaturangaben ist eine Möglichkeit die Cyclovoltammetrie (CV), wobei der Silicium-Einkristall (Teil eines Wafers) die Kathode ist, eine Platin-Elektrode die Anode und eine Wasserstoff­elektrode die Bezugselektrode. Diese CV-Experimente werden in verdünnter Flusssäure-Lösung in PTFE-Behältern durch­geführt. Das Ausmaß der Einlagerung hängt ab vom Typ des Si-Ein­kristalls wie auch von Art und Menge des Dopings ab und kann durch physikalische Messungen wie der Ramanstreuung ermittelt werden.