Forschungsschwerpunkte

Mit einem außerordentlich hohen Forschungs- und Anwendungspotential sind heute die sogenannten MOEMS (MikroOptoElektro-Mechanische Systeme) einzuschätzen. In der Professur werden in enger Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) sowohl Aufgaben zum Entwurf und zur Simulation als auch zur Fertigungstechnologie und Charakterisierung durchgeführt. Eine wichtige Rolle im Zusammenspiel der Komponenten ist eine integrierte Systementwicklung.
Anwendungen von MOEMS sieht man heute besonders für Mikrospiegelarrays in der Lithographie.
Mikroscannerspiegel können sehr kostengünstig und effektiv in Laserscannern und Projektoren eingesetzt werden.
Die Adaptive Optik eröffnet heute bereits ein großes Anwendungsspektrum. Es beginnen erfolgversprechende Entwicklungen in der Nanooptik, Nanophotonik und den Nanosystemen, die uns weit in die Zukunft begleiten werden.

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