Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
Opal: https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/23131979819?3
Prof. Dr.-Ing.habil. U. Marschner / Prof. Dr.-Ing. P. Schneider (FhG-IIS/EAS)
Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Im Sommersemester 2024 halten wir im Modul "Entwurf von Mikrosystemen die Vorlesung Entwurf und Simulation von Mikrosystemen (ET-1212-02)
- Zeitl. Ablauf: 2/0/0
- Beginn: 16.04.2026
- Zeit: Donnerstag, 2. DS (im Wechsel mit der LV Anwendung kombinierter Simulation)
- Ort: N63/A001/U
Hörerkreis
Masterstudenten Mikroelektronik (WO-Fach) sowie interessierte Studenten und Doktoranden anderer Fachrichtungen
Schwerpunkte:
- Grundlagen der Mikromechanik, mikromechanische Bauelemente
- Mathematische Verfahren zur Lösung partieller Differentialgleichungen in Simulatoren (Finite Differenzen, Finite Elemente)
- CAD-Tools für 1D-/2D-Technologie- und Bauelementesimulation
- Modellierung und Simulation von Multi-Nature-Systemen (Kopplung von Simulatoren)
- Systementwurf-/Simulation von Mikrosystemen mit elektrischen und nichtelektrischen (mechanischen) Elementen, Systembeschreibungssprachen für den Systementwurf (VHDL, VHDL-AMS)
Das zur Vorlesung gehörende Praktikum (0/0/2) findet freitags 3./4. DS online statt. Beginn und Termin nach Absprache
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