Physikalische Mikroanalytik

Dr. rer. nat. C. Wenzel

Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik

Modul Charakteriserung von Mikrostrukturen (ET-121205)

Physikalische Mikroanalytik

zeitl. Ablauf: 2/0/0
Zeit: Dienstag, 3. DS Vorlesungsbeginn: 15.10.2019
Ort: Mierdel-Bau 116

Vorausgesetzte Kenntnisse

Vordiplom
Werkstoffe
Halbleitertechnik

Ziel des Lehrfaches

Dargestellt werden die Notwendigkeit und die Möglichkeiten des Einsatzes der Physikalischen Mikroanalytik zur Charakterisierung von Werkstoffen der Mikroelektronik/Elektronik, von Veränderungen in diesen Werkstoffen durch Belastungen unterschiedlicher Art. Im Mittelpunkt stehen dabei elektronen- und ionenphysikalische Untersuchungsverfahren, ihre Wirkmechanismen, ihr Informationsgehalt und die erforderlichen Kombinationen mehrerer Methoden zur Bewältigung der analytischen Aufgaben in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik.
Praktika an modernen analytischen Geräten dienen der Vertiefung des behandelten Stoffes.

Inhalt des Lehrfaches:

Vorlesungen:

Einsatz der Physikalischen Mikroanalytik für die Belange der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
Wechselwirkung von Strahlung (Photonen, Elektronen, Ionen) mit einem Festkörper
Elektronenmikroskopie, Rasterelektronen-Mikroskopie, Transmissions-Elektronenmikroskopie
Röntgenspektrometrische Verfahren, Röntgenbeugung, energiedispersive bzw. winkelaufgelöste Röntgenmikroanalyse
Elektronenspektrometrische Verfahren, Photoelektronen-Spektrometrie, Elektronen-Energieverlust-Spektrometrie, Augerelektronen-Spektrometrie
Ionenspektrometrische Verfahren, Rutherford-Rückstreuung, Massenspektrometrische Verfahren, Sekundärionen-Massenspektrometrie, Laserangeregte Massen-Mikroanalyse
Raster-Tunnel-Mikroskopie/Rastersondenmikroskopie
Gerätetechnik/Weiterentwicklungen/Mikroanalytik zur Qualitätskontrolle