Mikrotechnologien
| Vorlesender | Prof. Dr.-Ing. Thomas Mikolajick |
| zeitlicher Ablauf | 3/0/0 SWS (3. Semester) |
| Zielpublikum | Grundstudium Elektrotechnik |
Ziel des Lehrfaches
Dargestellt werden die grundlegenden Prinzipien zur Herstellung und Miniaturisierung von Bauelementen und integrierten Schaltungen sowie Mikrosystemen. Dies beinhaltet die Wirkungsweise der Einzeltechnologien und deren Zusammenwirken zu einfachen Prozessabläufen.
Inhalt des Lehrfaches
- Einleitung
- Kristallzüchtung
- Lithographie
- Schichtherstellung
- Reinigung und Strukturierung
- Planarisierung
- Dotierung
- Prozessmodule der Mikroelektronik
- Prozessmodule der Mikrosystemtechnik
- Prozesskontrolle
- Ausblick
Link zum OPAL Kurs
https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/18568773644?8