Halbleitertechnologie/Prozessintegration
Prof. Dr. rer. nat. habil. A. Erbe
Modul Mikrosystemtechnik und Halbleitertechnologie (ET-121201)
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- zeitlicher Ablauf V/Ü/P: 2/0/1
- Zeit und Ort:
- Vorlesung: Dienstag, 5. DS, BER/105/H
- Praktikum: Reinraumlabor am Mierdelbau - N.V.
- Beginn: 04.04.2023
- OPAL-Link: https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/17035362304/CourseNode/97454169819428
Inhalt der Vorlesung
Die Prozessintegration, d. h. die sinnvolle Zusammenstellung der Einzelprozessschritte, um einen integrierten Schaltkreis zu generieren, steht im Mittelpunkt dieser Lehrveranstaltung. Es werden die Schritte, die bei der Entwicklung von CMOS und bipolaren Bauteilen verwendet werden, diskutiert. Die grundlegenden Bauelemente die für Leistungshalbleiter relevant sind, werden ebenfalls vorgestellt. Ein Ausblick zu modernen Methoden der Aufbau- und Verbindungsmethoden sowie mögliche zukünftige Entwicklungen der Integration von elektronischen Bauteilen bildet den Abschluss der Vorlesung.
Praktikumsversuche
Opal: https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/5690753028/CourseNode/101358303504194?3
Im Praktikum werden Prozesse zur Erzeugung integrierter Schaltungen erklärt und durchgeführt. Hierzu gehören folgende Technologien:
- CVD/ALD-Schichtabscheidung
- PVD-Beschichtung
- RIE-Trockenstrukturierung
- Lithographie
- Galvanische Metallabscheidung
- Differenzielles Rückätzen
- Elektrische Messtechnik