Polymere Mikrosysteme
| Referent: | Prof. Dr. Andreas Richter |
| Umfang: | 2 0 0 SWS |
| Abschluss: | Leistungsnachweis (L) |
| Zeit: | Sommersemester |
| Hörer: | Graduierte |
Diese Vorlesung wird von der Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik angeboten.
Gegenstand der Lehrveranstaltung
In der Mikrosystemtechnik gewinnen polymere Mikrosysteme erheblich an Bedeutung. Sie unterscheiden sich in den zugrunde liegenden Eigenschaften, den nutzbaren physikalischen Phänomenen, in der Herstellung und der Anwendung fundamental von der konventionellen Mikrosystemtechnik, welche von aus der Halbleitertechnologie stammenden Prozessen dominiert wird. Die Vorlesung Polymere Mikrosysteme führt in die Grundlagen dieses Gebietes ein.
Inhalt
- Einleitung
- Eigenschaften von Polymeren
- Polymercharakterisierung
- Synthese von Polymeren
- Substratmaterialien
(Typen, Strukturierung, Packaging) - Intrinsisch aktive Polymere
(Typen, Strukturierung, Integration) - Mikroelektromechanische Systeme
- Mikrochemomechanische Systeme.