Werkstoffe der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
| Referent: |
Dr. rer. nat. Enrico Langer |
| Umfang: | 2 0 1 SWS |
| Zeit: | Donnerstag, 6. DS |
| Ort: |
Vorlesung: BAR/0213/H Praktikum: Mierdel-Bau, verschieden |
| erste Vorlesung: | 16.04.2026 |
| Hörer: | Diplom und Master |
Diese Vorlesung wird von der Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik angeboten. Sie ist Bestandteil des Moduls ET- 12 12 01 "Mikrosystem- und Halbleitertechnologie".
Gegenstand der Lehrveranstaltung
In der Mikroelektronik, wie in allen Mikrotechnologien, wird die Entwicklung momentan vorrangig von der Entwicklung neuer Werkstoffe bzw. durch das Entwickeln und Ausreizen von Bearbeitungs- und Herstellungstechnologien altbekannter Materialien bestimmt. Dazu ist es notwendig, den Aufbau von Festkörpern und ihrer Eigenschaften von den Grundlagen her zu verstehen. Die Vorlesung vermittelt diese Grundlagen aus der Sicht der Mikrotechnologien. Sie vermittelt Kenntnisse über die relevanten altbekannten und auch der modernsten Materialien der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Sie zeigt auch die Möglichkeiten auf, "Werkstoffe nach Maß" zu entwickeln.
Inhalt
- Fester Zustand (Bindung, Einkristall, Polykristall, Nanokristall und Glaszustand)
- Halbleiterwerkstoffe
- Organische Funktionswerkstoffe
- Carbon-Nanotubes, Graphen
- Funktionswerkstoffe ionisch gebundener Materialien
- Funktionswerkstoffe metallisch gebundener Materialien
- Bindungen an Oberflächen und Grenzflächen
- kurzer Einblick in Materialien für Quantencomputer
- Metamaterialien (Photonische Kristalle, Materialien mit negativem Brechungsindex)
Praktikum
Benetzung, Formgedächtnislegierung, Metallografie, Rasterelektronenmikroskopie
Die Einschreibung zum Praktikum erfolgt über OPAL.
Die Einschreibung zur Vorlesung beginnt ab 1.04.2026 über OPAL.